本研究深入分析了XY工作台的动态特性，以准确补偿多因素下由动态和静态特性引起的机上测量系统的测量误差。建立了XY工作台运动部件的动态定位误差模型，推导了XY工作台动态定位误差的理论模型。将数控机床相关误差实验平台的实际参数代入模型进行理论计算和分析。结果表明，工作台的运动速度、被测工件的重量、工件的安装位置和摩擦力是引起动态定位误差的主要因素。通过动态定位误差分析和验证实验，验证了理论模型的有效性。实验结果表明，XY工作台的动态定位误差与运动速度之间有规律的变化，实际测量结果与理论计算结果基本一致。研究结果可为建立数控机床在线测量系统的测量误差预测和补偿模型，提高测量精度奠定良好的基础。