该MEMS扫描镜由单晶硅制成，具有一层反射涂层，可以增强激光雷达的测距激光。传感器捕捉到的光越多，就越能准确地确定与物体之间的距离。集成该扫描镜芯片的定位技术能够持续追踪扫描镜控制激光束的方向和被测量位置。

弗劳恩霍夫光子微系统研究所（IPMS）副研究员Jan Grahmann博士表示，“利用我们的技术平台，我们能够满足适用于激光雷达的新型微扫描镜的设计规范。激光雷达系统能够三维扫描周围区域，从而检测到行人、骑行者或其他车辆。我们的MEMS扫描镜将激光束分割成二维，并将光聚焦在被测物体上。通过测量反射光的飞行时间，也可以确定与物体之间的距离，作为第三个维度。”

自动驾驶汽车计算机视觉公司AEye已采用这项新技术。据Fraunhofer IPMS称，该公司已将这种新型扫描镜集成到其4Sight激光雷达传感器中。该微扫描镜的工作波长为905nm至1550nm，这是激光雷达应用的典型波长，而且其孔径大小对工作距离有显著影响。Grahmann表示，该微扫描镜与AEye的智能激光雷达传感器配合使用，射程可能会超过200米。

Grahmann还称，“我们的MEMS扫描镜的尺寸至多为5毫米。较大的扫描镜可用于特殊应用，但如果尺寸过大，就会失去MEMS的优势。除了微扫描镜，我们还提供必要的封装和驱动电子。其所有部件都可以根据客户的要求进行设计，从而确保可以集成到不同的激光雷达系统中。我们还为头戴式显示器和工业机器人开发MEMS扫描镜。”

据研究小组称，下一步将计划大批量生产微扫描镜，并为量产技术做准备。